奈米碳管成长之方法及其制成物结构

摘要

一种奈米碳管成长之方法及其制成物结构，主要可由基板上依序披覆有金属扩散层及催化金属层，并通入含碳气体，使碳原子由金属扩散层扩散进入催化金属层形成之催化金属颗粒，而由催化金属层表面所形成之数催化金属颗粒内部向外生长，而可在低温的条件下获得直立式之奈米碳管。