| 摘要 |
本发明披露了一种多孔有机矽酸盐玻璃(OSG)薄膜：SivOwCxHyFz，其中v＋w＋x＋y＋z＝100％，v为10–35％原子，w为10–65％原子，x为5–30％原子，y为10–50％原子，而z为0–15％原子，所述薄膜具有带碳键如甲基(Si–CH3)的矽酸盐网路并且有直径小于3nm当量圆球形直径的孔，且介电常数小于2.7。由有机矽烷及／或有机矽氧烷前驱物，以及独立的已成孔前驱物，通过化学气相积方法 积预备薄膜。成孔剂前驱物在预备薄膜内形成孔，随后被除去以提供多孔薄膜。组合物，即成膜成套工具包括：含至少一个Si–H键的有机矽烷及／或有机矽氧烷化合物，以及含醇、醚、羰基、羧酸、酯、硝基、第一胺、第二胺及／或第三胺官能团或其组合的烃的成孔剂前驱物。 |
