一种奈米碳管阵列生长方法

摘要

一种奈米碳管阵列生长方法，其包括以下步骤：提供一基底，该基底之一表面形成有一催化剂层；将上述基底设置于一反应炉内；往反应炉内通入载气气体，并加热使得反应炉达到一预定温度；往反应炉内通入碳源气与氢气，该氢气通过一通气装置直接通入到基底附近；反应预定时间，在基底上生长得到奈米碳管阵列。