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发明名称
具有电子发射体的准分子雷射
摘要
本发明系关于一种用于准分子雷射的装置、系统和方法,其具有雷射气体和电子发射体,以在应用发射电压下发射电子。
申请公布号
TW200637090
申请公布日期
2006.10.16
申请号
TW095100340
申请日期
2006.01.04
申请人
英特尔股份有限公司
发明人
麦克 史奇纳;玛沙 纽斯塔特
分类号
H01S3/22;H01S3/14
主分类号
H01S3/22
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
美国
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