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发明名称 APPARATUS FOR CIRCULATING AND METHOD FOR CONTROLING TEMPERATURE THEREBY
摘要
申请公布号 KR20060107248(A) 申请公布日期 2006.10.13
申请号 KR20050029370 申请日期 2005.04.08
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JONG HAW
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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