发明名称 硅单晶锭X射线定向仪
摘要 本实用新型涉及硅单晶锭X射线定向仪,包括工作台、测角仪、X射线管、样品测量台、自动控制面板及单片机。特点是样品测量台设有硅锭滚动装置、硅锭测量定位装置和硅锭自转自动测量装置。硅锭由测量定位装置的定位板压紧硅锭“OF”面在滚动装置的一对滚杠上定位,在硅锭自转自动测量装置采用轴编码器解决了硅锭自转旋转测量精度的问题。通过旋转硅锭0°、90°、180°、270°四个方向实现四方位测量,也可完成0°、90°二方位测量。通过单片机自动计算出相应的硅锭加工时旋转角和摆动角。优点是实现了硅单晶锭方位自动测量,使人们从过去手工计算复杂的劳动中解脱出来,提高了生产率。
申请公布号 CN2826421Y 申请公布日期 2006.10.11
申请号 CN200520092740.9 申请日期 2005.09.29
申请人 赵久;关守平;甄伟 发明人 赵久;关守平;甄伟
分类号 G01N23/207(2006.01) 主分类号 G01N23/207(2006.01)
代理机构 沈阳利泰专利代理有限公司 代理人 王东煜
主权项 1、硅单晶锭X射线定向仪,包括工作台(1)、测角仪(2)、(11)、X射线管(12)、样品测量台(10)、(13)、计数管(3)、(9)、自动控制面板(4)、(5)及单片机,工作台(1)中间部位设有X射线管(12),样品测量台(10)、(13)分别设在工作台(1)左侧和右侧,位于X射线管(12)两侧,左右样品测量台(10)、(13)通过各自测角仪(2)、(11)主轴分别连接固设在工作台(1)左右侧的测角仪(2)、(11)的传动蜗轮上,于左右样品测量台(10)、(13)的外侧各设置有计数管(3)、(9),计数管(3)、(9)通过支架分别连接在左右测角仪(2)、(11)上,两个自动控制面板(4)、(5)分别通过立柱与工作台(1)连接,其特征在于所述的样品测量台(10)、(13)设有硅锭滚动装置(8)、硅锭测量定位装置(6)和硅锭自转自动测量装置(7),硅锭滚动装置(8),包括一对滚杠(16)、(20)、蜗轮(18)、蜗杆(17)和手轮(19),一对滚杠(16)、(20)以设定的距离通过两端轴承固定支撑在样品测量台上,其中一个滚杠(20)前端与蜗轮(18)固定连接,蜗轮(18)与蜗杆(17)啮合,蜗杆(17)的轴端与手轮(19)固定连接;硅锭测量定位装置(6),包括导柱(22)、横梁(23)、定位板(21)和手轮(26),横梁(23)两端各连接导柱(22),通过导柱(22)与样品测量台连接,定位板(21)两端套装在横梁(23)两端导柱(22)上,可在导柱(22)上滑动,横梁(23)中间设有手轮(26),手轮(26)通过丝杠(25)与定位板(21)连接;硅锭自转自动测量装置(7),包括联接块(32)、联轴节(31)、硅锭自转编码器(30)、编码器托板(29)、编码器支板(28)和导轨(27),联接块(32)与所测量的硅锭(15)端面摩擦连接,联接块(32)中心设有联接轴,其联接轴通过联轴节(31)与硅锭自转编码器(30)输入轴连接,硅锭自转编码器(30)连接在编码器托板(29)上,编码器托板(29)通过螺钉紧固在编码器支板(28)上,编码器支板(28)通过螺钉紧固在导轨(27)的滑块上,导轨(27)通过螺钉紧固在样品测量台上;所述的单片机配置的硬件,包括键盘(33)、液晶显示器(34)、微型打印机(35)、测角仪编码器(42),测角仪编码器(42)输入端连接测角仪(2)、(11)的主轴上,测角仪编码器(42)输出端、键盘(33)、液晶显示器(34)、微型打印机(35)分别通过主电路板上的测角仪编码器接口电路、键盘接口电路、液晶显示器接口电路、微型打印机接口电路与单片机电连接;所述的工作台(1)上的两个自动控制面板(4)、(5),其结构相同,布设有X射线管电流微安表(36)及灵敏度、调零调节钮(37)、(38)、液晶显示器(34)、键盘(33)、微型打印机(35)及打印机电源开关(39)、控制电源开关(40)、硅锭自转编码器(30)的数显表(41)。
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