用于扫描探针显微镜并且带动探针扫描的扫描器

摘要

本发明涉及一种用于扫描探针显微镜并且带动探针扫描的扫描器。它包括把X－Y－Z一体的四象限分割电极的压电陶瓷扫描管一端固定于壳体上的连接套，绝缘隔离垫片，套管，用于安装悬臂梁探针的专用扫描探针卡具，圆柱形光学平行玻璃和光学会聚物镜；压电陶瓷扫描管一端固定于壳体上的连接套，另一端与套管的上端相接，套管的下端安装带有悬臂梁探针的扫描探针卡具；压电陶瓷扫描管与套管内壁固定胶粘接在圆柱形光学平行玻璃的圆柱面上；在套管的上端内壁平行玻璃的下方安装光学会聚物镜，使得平行准直的激光束会聚到悬臂梁探针的背面；压电陶瓷扫描管通过驱动细电缆线接到压电陶瓷伸缩控制驱动器上。

主权项

1.用于扫描探针显微镜并且带动探针扫描的扫描器，其特征是，包括把X-Y-Z一体的四象限分割电极的压电陶瓷扫描管(2)一端固定于壳体上的连接套(1)，绝缘隔离垫片(4)，套管(5)，用于安装悬臂梁探针(8)的专用扫描探针卡具(7)，圆柱形光学平行玻璃(3)和光学会聚物镜(6)；压电陶瓷扫描管(2)一端固定于壳体上的连接套(1)，另一端与套管(5)的上端相接，套管(5)的下端安装带有悬臂梁探针(8)的扫描探针卡具(7)；压电陶瓷扫描管(2)的外径和内径与陶瓷套管(5)的外径和内径相同，压电陶瓷扫描管(2)与陶瓷套管(5)连接处的内壁用固定胶粘接在圆柱形光学平行玻璃(3)的圆柱面上；在套管(5)的上端内壁平行玻璃(3)的下方安装光学会聚物镜(6)；压电陶瓷扫描管通过驱动细电缆线接到压电陶瓷伸缩控制驱动器上。