一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器

摘要

扭摆式硅MEMS角加速度传感器由敏感元件、电容式变换器、反馈静电力矩器、信号处理电路以及壳体组成，壳体包括真空封装和基座，敏感元件包括两个固连在基座上的锚点、一个活动极板、两个两端分别固连在锚点和活动极板上的挠性支撑梁和两个对称分布在活动极板上表面的质量块，挠性支撑梁位于活动极板的中心线上，在活动极板下面的基座上，埋置两对对称分布的固定极板，一对为电容式变换器的敏感电极，一对为反馈静电力矩器的施力电极，通过导线分别与电容式变换电路和反馈静电力矩器连接，敏感元件敏感角加速度产生绕着挠性梁轴向的角位移，以此检测角加速度。本发明体积小，成本低，可应用于惯性稳定控制系统，角振动测试系统以及惯性导航系统。

主权项

1、扭摆式硅MEMS角加速度传感器，其特征在于：由敏感元件(8)、电容式变换器(9)、反馈静电力矩器(10)、信号处理电路(11)以及壳体(12)组成，壳体(12)包括真空封装外壳和基座(1)，敏感元件(8)包括两个固连在基座(1)上的锚点(2)、一个活动极板(3)、两个两端分别固连在锚点(2)和活动极板(3)上的挠性支撑梁(4)和两个对称分布在活动极板(3)上表面的质量块(5)，挠性支撑梁(4)位于活动极板(3)的中心线上，在活动极板(3)下面的基座上，埋置两对对称分布的固定极板，一对为电容式变换器(9)的敏感电极(6)，一对为反馈静电力矩器(10)的施力电极(7)，通过导线分别与电容式变换电路(9)和反馈静电力矩器(10)连接，敏感元件(8)敏感角加速度产生绕着挠性支撑梁(4)轴向角位移，以此检测角加速度。