发明名称 |
触针、使用该触针的探针卡以及电子零件试验装置 |
摘要 |
一种触针(50),与晶片的端子接触,用于对该晶片提供信号,包括:由具有比晶片的端子上形成的氧化膜更高的硬度的第一导电性材料构成的第一导电层(51b)、由具有比所述氧化膜更低的硬度的第二导电性材料构成的第二导电层(51c)、在外侧形成第一导电层(51b)以及第二导电层(51c)的母材(51a),第一导电层(51b)紧贴第二导电层(51c)的外侧形成,在触针(50)的顶端面(50a)上,第一导电层(51b)以及第二导电层(51c)一起露出。 |
申请公布号 |
CN1846138A |
申请公布日期 |
2006.10.11 |
申请号 |
CN200480019363.4 |
申请日期 |
2004.12.14 |
申请人 |
株式会社爱德万测试 |
发明人 |
黑鸟文夫;石川贵治;齐藤忠男 |
分类号 |
G01R1/067(2006.01);G01R1/073(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
G01R1/067(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
李德山 |
主权项 |
1.一种触针,通过与电子零件的端子接触来向所述电子零件提供信号,包括:由硬度高的第一导电性材料构成的第一导电层;和由比所述第一导电性材料的硬度低的第二导电性材料构成的第二导电层。 |
地址 |
日本东京 |