| 发明名称 |
SOI WAFER AND PROCESS FOR PRODUCING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060104971(A) |
申请公布日期 |
2006.10.09 |
| 申请号 |
KR20060088555 |
申请日期 |
2006.09.13 |
| 申请人 |
SILTRONIC AG |
发明人 |
HOELZL ROBERT;DANTZ DIRK;HUBER ANDREAS;LAMBERT ULRICH;WAHICH REINHOLD |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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