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发明名称 PROCESS FOR PREPARING A POLISHING SLURRY HAVING HIGH DISPERSION STABILITY
摘要
申请公布号 KR20060103858(A) 申请公布日期 2006.10.04
申请号 KR20060026820 申请日期 2006.03.24
申请人 SAMSUNG CORNING CO., LTD. 发明人 CHO, YUN JU;LEE, IN YEON;JEON, HOON SOO;HONG, DUK YOUNG;KIM, TAI YOUNG;LEE, SANG ICK;PARK, EUN KYOUNG
分类号 C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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