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发明名称
多重构件生产装置之模型式组合前测试技术
摘要
一种依据具有性能规格的装置设计之多重构件生产装置利用一种方法被制造,该方法包含接收构成该生产装置之生产构件的分别构件行为模式;依据该装置设计而组合该等构件行为模式以形成一装置行为模式;并且,在组装该生产装置之前,藉由于该装置行为模式上进行模拟测试而预估对于该生产装置之性能量度。
申请公布号
TW200634904
申请公布日期
2006.10.01
申请号
TW094145627
申请日期
2005.12.21
申请人
安捷伦科技公司
发明人
欧尼尔;赫希 亚杰
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
美国
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