探针头阵列

摘要

一种用以测试形成在一半导体晶圆上之装置的探针头，包括复数探针待测装置阵列。每一待测装置包括垫，其抵着对应探针待测装置阵列中的探针呈压力接触。探针阵列图案具有例如凹部、凸部、岛部、和开口的中断。当探针接触垫时，该中断相对于至少一装置。