发明名称 半导体测试装置之处置器
摘要 一种半导体测试装置之处置器,以简化测试托盘装载/卸载半导体装置的程序,增加同时可测的半导体装置数目。处置器包括一装载站、一卸载站、测试托盘、一包括在工作区按预定间距水平移动一已选择的测试托盘的水平移动单元的转换站、一测试站上设置至少一包括复数个和半导体装置电性连接的测试插槽的测试板,测试站在连接一由转换站提供给测试站的测试托盘上的半导体装置到测试插槽时执行测试,装置传送单元用来分别在装载站和转换站之间及在转换站和卸载站之间传送半导体装置,及一托盘传送单元用来在转换站和测试站之间传送测试托盘。
申请公布号 TW200634320 申请公布日期 2006.10.01
申请号 TW094127592 申请日期 2005.08.12
申请人 未来产业股份有限公司 发明人 咸哲镐;宋镐根;朴龙根;林佑永;徐载奉
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 韩国