发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterschaltung
摘要
申请公布号 DE60207907(T2) 申请公布日期 2006.09.28
申请号 DE20026007907T 申请日期 2002.01.31
申请人 SHARP K.K. 发明人 MATSUMOTO, HIRONORI;OHMI, TOSHINORI
分类号 G06K19/07;H01L21/28;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/47;H01L29/872 主分类号 G06K19/07
代理机构 代理人
主权项
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