发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterschaltung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60207907(T2) |
申请公布日期 |
2006.09.28 |
申请号 |
DE20026007907T |
申请日期 |
2002.01.31 |
申请人 |
SHARP K.K. |
发明人 |
MATSUMOTO, HIRONORI;OHMI, TOSHINORI |
分类号 |
G06K19/07;H01L21/28;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/47;H01L29/872 |
主分类号 |
G06K19/07 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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