发明名称 METHOD FOR FABRICATING METAL PLUG OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060102712(A) 申请公布日期 2006.09.28
申请号 KR20050024592 申请日期 2005.03.24
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 OH, JAE MIN;LIM, SUNG WON;JIN, SUNG GON;KIM, BAEK MANN
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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