发明名称 Ausleger für optisches Nahfeld-Rastermikroskop
摘要
申请公布号 DE69932870(D1) 申请公布日期 2006.09.28
申请号 DE1999632870 申请日期 1999.11.02
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 NIWA, TAKASHI;ICHIHARA, SUSUMU;MITSUOKA, YASUYUKI;KATO, KENJI;CHIBA, NORIO;OUMI, MANABU;KASAMA, NOBUYUKI
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/18;G01Q60/22;G01Q60/38;G01Q70/16 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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