Apparatus for forming a layer,申请号KR20040090301-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus for forming a layer
摘要
申请公布号	KR100629172(B1)	申请公布日期	2006.09.27
申请号	KR20040090301	申请日期	2004.11.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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