| 主权项 |
1.一种正型化学放大型光阻组成物,包括: 一交联剂,该交联剂包括一尿素树脂类化合物,该 尿素树脂类化合物为选自下列化学结构式(I)所示 之化合物或其缩合物及化学结构式(II)所示之化合 物或其缩合物: (式中,R1~R4彼此可为相同或不同,其表示氢原子、 具有1到6个碳原子之烷基、具有1到6个碳原子之胺 基烷基、具有1到6个碳原子之羟基烷基、具有6到 20个碳原子之经取代或未取代之芳基或具有2到6个 碳原子之烷氧基烷基;但是,R1~R4之中,至少一个为 具有2到6个碳原子之烷氧基烷基;R1、R2之任一个与 R3、R4之任一个可彼此结合而形成环状物;) (式中,R5~R8彼此可为相同或不同,其表示氢原子、 具有1到6个碳原子之烷基、具有1到6个碳原子之胺 基烷基、具有1到6个碳原子之羟基烷基、具有6到 20个碳原子之经取代或未取代之芳基或具有2到6个 碳原子之烷氧基烷基;但是,R5~R8之中,至少一个为 具有2到6个碳原子之烷氧基烷基;) 一酸产生剂;以及 一树脂,该树脂本身系不溶或难溶于一卤性水溶液 ,但具有经由酸的作用下裂解的一保护基,该保护 基裂解后就会转变成可溶于该硷性水溶液,其中以 组成物总固体成份量为基准,该交联剂之含量为0. 01~10重量百分比、该酸产生剂之含量为0.1~20重量 百分比、该树脂之含量为7~99重量百分比。 2.如申请专利范围第1项所述之正型化学放大型光 阻组成物,其中该酸产生剂为该酸产生剂之一部分 或全部可经由放射线或热而产生一酸。 3.如申请专利范围第1项或第2项所述之正型化学放 大型光阻组成物,其中该树脂为包含具有以缩醛基 部分的保护酚氢氧基的结构之聚合单元之树脂。 4.如申请专利范围第1项或第2项所述之正型化学放 大型光阻组成物,其中更包括一硷性有机化合物。 5.如申请专利范围第3项所述之正型化学放大型光 阻组成物,其中更包括一硷性有机化合物。 |
