Polierkissen auf Wasserbasis und Herstellungsverfahren

摘要

Die vorliegende Erfindung stellt ein chemisch-mechanisches Polierkissen bereit, das eine polymere Matrix mit darin dispergierten Mikrokügelchen aufweist, wobei die polymere Matrix aus einem Polymer auf Wasserbasis oder Gemischen davon gebildet ist. Die vorliegende Erfindung stellt ein Polierkissen auf Wasserbasis mit einer verminderten Defekterzeugung und einer verbesserten Polierleistung bereit.