Abscheidung und thermische Behandlung von dünnen Schichten aus Mehrkomponentenoxyden von Typ ZrSnTi und HfSnTi unter Verwendung eines flüssigen lösungsmittelfreien Vorläufergemisch
摘要
申请公布号
DE60120254(T2)
申请公布日期
2006.09.21
申请号
DE20016020254T
申请日期
2001.03.08
申请人
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC.;LUCENT TECHNOLOGIES INC.
发明人
SENZAKI, YOSHIHIDE;HOCHBERG, ARTHUR KENNETH;ROBERTS, DAVID ALLEN;NORMAN, JOHN ANTHONY THOMAS;FLEMING, ROBERT MCLEMORE;ALERS, GLENN BALDWIN
