测量透镜的偏心的方法

摘要

本发明提供了一种能够通过测量二维曲面形状来测量轴的偏心的测量方法。此方法包括：第一步骤，由探针从第一基准位置测量被检查表面的形状，其中该第一基准位置是从对象透镜的被检查表面上的预定位置分开预定量的位置；第二步骤，通过由探针从第二基准位置扫描被检查表面而测量被检查表面的形状，该第二基准位置是对象透镜旋转之后，在与第一步骤的扫描方向相反的路线中从所述预定位置分开预定量的位置；以及，通过使用在第一和第二步骤中获得的测量结果获得被检查表面的偏心量的步骤。

主权项

1.一种测量透镜的偏心的方法，包含以下步骤：第一步骤，用于通过由探针从第一基准位置扫描被检查表面而测量该被检查表面的形状，其中该第一基准位置是从对象透镜的被检查表面上的预定位置分开预定量的位置；第二步骤，用于通过由探针从第二基准位置扫描被检查表面而测量该被检查表面的形状，其中该第二基准位置是对象透镜旋转之后，在与所述第一步骤的扫描方向相反的路线中从所述预定位置分开预定量的位置；以及通过使用在第一和第二步骤中获得的测量结果来获得被检查表面的偏心量的步骤。