可调谐等离子体谐振腔

摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的可调谐等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，其不同之处在于在圆柱型谐振腔壳体的一端安设调谐销钉，调谐销钉的前端伸入圆柱型谐振腔腔体，且伸入深度可调。本发明通过在谐振腔设置调谐销钉，可随时调节销钉的插入深度来达到调谐的效果，能使波导装置很好地与谐振腔负载匹配，以适应加工过程中谐振腔等效负载的不断变化，实现能量耦合的实时控制；同时有助于提高PCVD工艺的加工精度和效率，避免微波对系统器件的损坏，提高等离子体谐振腔微波系统的有效使用寿命；本发明还具有结构简单，性能稳定，便于加工和制作的特点。

主权项

1、一种可调谐等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，其特征在于在圆柱型谐振腔壳体的一端安设调谐销钉，调谐销钉的前端伸入圆柱型谐振腔腔体，且伸入深度可调。