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发明名称 Dispositif pour le dépôt d'un matériau semi-conducteur à partir d'un mélange en circulation formé d'un composé gazeux, de préférence d'un halogénure du matériau semi-conducteur et d'un réactif gazeux
摘要
申请公布号 BE616861(A1) 申请公布日期 1962.10.25
申请号 BE19620616861 申请日期 1962.04.25
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 B65B39/10;C01B33/035;C23C8/00;C23C16/06;(IPC1-7):H01L 主分类号 B65B39/10
代理机构 代理人
主权项
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