发明名称 LASER ANNEAL METHOD FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100621501(B1) 申请公布日期 2006.09.19
申请号 KR20050014927 申请日期 2005.02.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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