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发明名称 System for providing information of parts comprised in semiconductor manufacturing equipments and method for providing the same
摘要
申请公布号 KR100623428(B1) 申请公布日期 2006.09.19
申请号 KR20040045415 申请日期 2004.06.18
申请人 发明人
分类号 G06F17/00;G06F17/30 主分类号 G06F17/00
代理机构 代理人
主权项
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