加热的基材支撑件及其制造方法

摘要

本发明提供形成基材支撑之方法和装置。在一实施例中，该基材支撑包括一机体其具有一支撑面以及至少一个沟槽。该沟槽内配置有由一展性散热片环绕的发热元件。散热片可由一个或多个部件组成。该沟槽内散热片上方配置有一沟盖，且具有一上表面，其系配置成实质上与支撑面齐平。