罩幕的制造方法与图案化制程

摘要

一种罩幕的制造方法，此方法系先于罩幕材料层上形成图案化之牺牲层，且此图案化之牺牲层与罩幕材料层具有不同之蚀刻选择性。然后，以图案化之牺牲层为罩幕，对罩幕材料层进行等向性蚀刻制程而形成罩幕层，此罩幕层的尺寸系小于图案化之牺牲层的尺寸。