热应力补偿结构及热应力补偿方法

摘要

一种热应力补偿结构，至少包括一基板、一第一薄膜及一第二薄膜。基板具有一第一热膨胀系数，第一热膨胀系数系为正值。第一薄膜系位在基板上，第一薄膜具有一第二热膨胀系数，其中第二热膨胀系数系为正值。第二薄膜系位在基板上，第二薄膜具有一第三热膨胀系数，其中第三热膨胀系数系为负值。