微影装置及器件制造方法

摘要

本发明揭示一种浸渍式微影装置，其中一或多个液体分流器定位于一由一液体限制结构包围之空间中。该或该等液体分流器之功能系阻止浸液之一或多个再循环区域的形成，该浸液之一或多个再循环区域可导致该空间中浸液之折射率的变化并藉此导致成像误差。