前驱物蒸气传送至处理区域之改良方法与系统

摘要

一种改善固体前驱物输送之方法及系统。将一化学惰性包覆层设置在前驱物输送管线中之系统元件上，以在前驱物输送管线中减少相对不稳定之前驱物蒸气的分解，因而增加输送至处理区之用以将薄层沈积至基板上的前驱物蒸气。例如，该固体前驱物可为羰基钌或羰基铼。例如该惰性包覆层可为含CxFy聚合物，如聚四氟乙烯或乙烯一氯三氟乙烯共聚合物。使用惰性包覆层之其他优点包含：易于周期性地自前驱物管线清理沈积物。