研磨用组合物及使用该组合物之研磨方法

摘要

研磨用组合物系含有研磨材，藉由醛糖(aldose)之氧化而得的酸以及其盐之至少一者的醛糖衍生物，以及水。研磨用组合物系特别适用于研磨氧化物单结晶基板的用途。