光阻组成物

摘要

一种化学放大型正光阻组成物，系含有具有缩醛基和脂环基之添加剂。本发明较佳之光阻包含：树脂成分，其包括具有一个或一个以上光酸不安定部份之聚合物；一种或一种以上光酸产生剂类化合物；及含有一个或一个以上脂环基(例如，金刚烷基等)之添加剂。