| 发明名称 |
Method for increasing the yield in processes of deposition of thin layers onto a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1045860(A1) |
申请公布日期 |
2006.09.15 |
| 申请号 |
HK20020107068 |
申请日期 |
2002.09.26 |
| 申请人 |
SAES GETTERS S.P.A. |
发明人 |
ANDREA CONTE;FRANCESCO MAZZA;MARCO MORAJA |
| 分类号 |
C23C14/56;F04B37/04;(IPC1-7):C23C;F04B |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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