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发明名称 Interferometrisches Messverfahren und Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE50207716(D1) 申请公布日期 2006.09.14
申请号 DE2002507716 申请日期 2002.09.30
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DRABAREK, PAWEL;STREIBL, NORBERT
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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