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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements mit einer Praseodymoxid-Schicht
摘要
申请公布号 DE10244862(B4) 申请公布日期 2006.09.14
申请号 DE20021044862 申请日期 2002.09.23
申请人 IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK;TECHNISCHE UNIVERSITAET DARMSTADT 发明人 SCHWALKE, UDO;MUESSIG, HANS-JOACHIM
分类号 H01L21/3105;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/336 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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