发明名称 |
通过气相沉积法制造中空镍成型体 |
摘要 |
本发明涉及通过在一个封闭的、多部件卷筒(10、30、40)的内表面进行镍气相沉积用来生产镍成型体或外壳的一种方法和装置。封闭的多部件卷筒(10、30、40)取消了对分离的沉积室的需求,镍气相沉积形成的镍外壳(12、32、33、34)具有全部或部分多部件卷筒的内表面,形成中空的或者部分中空的镍制品(12、32、33、34)。 |
申请公布号 |
CN1833049A |
申请公布日期 |
2006.09.13 |
申请号 |
CN200480022799.9 |
申请日期 |
2004.08.06 |
申请人 |
韦伯制造有限公司 |
发明人 |
瑞恩哈特·韦伯;康拉德·班科夫斯基;阿兰·霍斯特 |
分类号 |
C23C16/16(2006.01);C23C16/46(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/16(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张敬强 |
主权项 |
1.一种通过镍气相沉积制造镍制品的方法,其包括如下步骤:提供一个中空多部件卷筒,其具有内壁部分,该内壁部分限定了所制造镍制品的至少一部分外表面;清除中空卷筒中的氧;加热所述多部件卷筒的内壁部分,使其温度足以使当四羰化镍蒸汽存在时发生镍沉积;输送四羰化镍蒸汽通过加热的中空多部件卷筒,制造所述镍制品;清除镍制品和多部件卷筒内部的四羰化镍蒸汽;以及,从卷筒中取下镍制品。 |
地址 |
加拿大安大略 |