发明名称 一种发黄光的有机电致发光二极管及制备方法
摘要 本发明涉及一种发黄光的有机电致发光二极管及制备方法,它是以8-羟基喹啉铝、酞菁铜、氟化锂、铝为原料、以罗丹明B为荧光染料掺杂剂,以氧化铟锡导电玻璃为发光器件的基底,以无水乙醇、甲苯、丙酮为清洗剂,以稀盐酸为刻蚀剂,采用9层量子阱结构,通过刻蚀氧化铟锡导电玻璃、清洗剂超声清洗、真空干燥、精选化学物质原料,采用合理的配比、真空蒸镀、冷却、检测分析,最终制得发黄光的有机电致发光二极管器件,黄光二极管9层量子阱结构中势垒与势阱层厚度均为3nm±0.5nm,各层电压均匀一致,可储存光能,并以辐射形式释放出光,器件本身不发热,延缓了老化,提高了器件的使用寿命,本发明制备工艺流程短,使用设备少,器件发光效率高,黄光色纯度好,色坐标为X=0.4457,Y=0.5054,导电性能好,安全、稳定、可靠,易于和其他发光器件匹配,使用领域广,是十分理想的发黄光的有机电致发光二极管及制备方法。
申请公布号 CN1832227A 申请公布日期 2006.09.13
申请号 CN200610012452.7 申请日期 2006.02.24
申请人 太原理工大学 发明人 许并社;马晨;王华;高志翔;周禾丰;郝玉英;刘旭光
分类号 H01L51/56(2006.01) 主分类号 H01L51/56(2006.01)
代理机构 太原市科瑞达专利代理有限公司 代理人 江淑兰
主权项 1、一种发黄光的有机电致发光二极管及制备方法,其特征在于:本发明使 用的化学物质材料为8-羟基喹啉铝、酞菁铜、铝、罗丹明B、氟化锂、无水乙 醇、甲苯、丙酮、导电玻璃、掩膜模板,其组合配比是:以克、毫升为计量单位 8-羟基喹啉铝:Alq<sub>3</sub>6g±0.1g 酞菁铜:CuPc1g±0.1g 铝:Al5g±0.1g 氟化锂:LiF0.1g±0.01g 罗丹明B:C<sub>6</sub>H<sub>4</sub>COOHC<sub>28</sub>H<sub>31</sub>ClN<sub>2</sub>O<sub>3</sub>0.12g±0.03g 无水乙醇:CH<sub>3</sub>CH<sub>2</sub>OH100ml±5ml 甲苯:C<sub>7</sub>H<sub>8</sub>100ml±5ml 丙酮:CH<sub>3</sub>COCH<sub>3</sub>100ml±5ml 稀盐酸:HCl50ml±5ml 导电玻璃:氧化铟锡ITO40×20×2mm 掩膜模板:塑胶柔性材料40×20×0.5mm 透明胶带:透明40×2×0.08mm 本发明的制备方法如下: (1)精选化学物质 对制备所需的化学物质材料细粉要进行精选,并进行纯度、细度、精度控制: 8-羟基喹啉铝:99.995% 酞菁铜:99.95% 铝:99.9% 氟化锂:99.95% 罗丹明B:99.95% 无水乙醇:99.7% 甲苯:99.5% 丙酮:99.5% 稀盐酸:浓度20% 导电玻璃:氧化铟锡ITO方阻10Ω/□-60Ω/□透射率80%-88% 无色透明 掩膜模板:40×20×0.5mm 透明胶带:40×2×0.08mm 原料细度≥300目 (2)刻蚀导电玻璃 测试导电玻璃正面、反面导电特性,确定导电面为正面; 在导电面上部以中心线为基准,在导电面上对称粘贴两条透明胶带,透明胶 带为40×2×0.02mm; 将粘贴透明胶带的导电玻璃置于烧杯中,然后加入稀盐酸50ml±5ml,进行 腐蚀并刻制,时间为2min±0.2min; 将刻蚀后的导电玻璃,用白色软质纤维材料反复擦拭正面和反面,使其洁净; 揭去导电面上部的透明胶带,以备清洗。 (3)制作掩膜模板模孔 在掩膜模板40×20×0.5mm上对称切割制作4个等间距矩形通孔形模孔6 ×2×0.5mm (4)清洗导电玻璃 将刻蚀后的导电玻璃置于烧杯中,将盛有导电玻璃的烧杯置于超声波清洗器 中,分别依次在烧杯中放入无水乙醇、甲苯、丙酮,进行超声清洗,顺序为: 无水乙醇:50ml±5ml清洗时间:15min±1min 甲苯:50ml±5ml清洗时间:15min±1min 丙酮:50ml±5ml清洗时间:15min±1min (5)清洗掩膜模板 将掩膜模板置于烧杯中,将盛有掩膜模板的烧杯置于超声波清洗器中,在烧 杯中放入无水乙醇、甲苯、丙酮,进行超声清洗,顺序为: 无水乙醇:50ml±5ml清洗时间:10min±1min 甲苯:50ml±5ml清洗时间:10min±1min 丙酮:50ml±5ml清洗时间:10min±1min (6)真空干燥处理 将清洗后的导电玻璃置于真空干燥箱中进行干燥处理,干燥温度为30℃±2 ℃,时间为5min±0.2min (7)染料掺杂混合 将罗丹明B0.12g±0.03g掺杂于8-羟基喹啉铝3g±0.1g中,混合并搅拌 均匀,置于储存容器内待用。 (8)置放蒸镀材料 将酞菁铜1g±0.1g、8-羟基喹啉铝3g±0.1g、8-羟基喹啉铝:罗丹明B 3.12g±0.4g、氟化锂0.1g±0.01g、铝5g±0.1g依顺序放置在真空蒸镀箱中 的蒸发源坩埚里。 (9)置放导电玻璃、掩膜模板 将刻蚀干燥后的导电玻璃置放在掩膜模板底部,掩膜模板为40×20×0.5 mm,在掩膜模板上等间距并排设有矩形掩膜孔6×2×0.5mm,将掩膜模板、导 电玻璃一起用透明胶带粘贴固定在真空蒸镀箱内的星式基板台上,掩膜孔对准导 电玻璃的正面导电面。 (10)真空轰击导电玻璃、掩膜模板 将粘贴固定在星式基板台上的掩膜模板、导电玻璃置于真空蒸镀箱中,然后 开启真空泵抽真空,当压强≤5Pa时,开启蒸镀箱电流控制器,用125A电流强 度轰击导电玻璃,以提高导电玻璃的功函数,轰击时间为5min±0.2min。 (11)真空蒸镀、气相沉积、形态转化、薄膜生长、产品成型 在真空蒸镀箱中进行蒸镀成型,当压强≤0.002Pa时,开启真空蒸镀箱控制 器,真空蒸镀箱开始升温,升温速度为3℃/min,升温时间为10min±0.5min, 温度升至50℃±2℃,烘烤温度为50℃±2℃,烘烤蒸镀时间为120min±10min; 化学物质原料固态粉末在真空加热状态下,由固态转化为液态,由液态转化为气 态分子,然后在导电玻璃导电面上的掩膜模孔内气相沉积、生长薄膜、转化为固 态膜层、产品成型; 第1步:开启星式基板台使其转动,转数为20r/min;按黄光二极管9层 结构,逐层蒸镀,蒸发源坩埚内的化学物质粉末按气态转化温度不同,分别进 行电极接通,分别逐一逐层进行气态转化; 第2步:在导电玻璃层1上,蒸镀第2层,即酞菁铜空穴缓冲层,镀层厚 度为6nm±0.5nm; 第3步:蒸镀第3层,即量子阱结构中势垒层,8-羟基喹啉铝层,镀层 厚度为3nm±0.5nm; 第4步:蒸镀第4层,即量子阱结构中势阱层,8-羟基喹啉铝与罗丹明B 层,镀层厚度为3nm±0.5nm; 第5步:蒸镀第5层,即量子阱结构中势垒层,8-羟基喹啉铝层,镀层厚 度为3nm±0.5nm; 第6步:蒸镀第6层,即量子阱结构中势阱层,8-羟基喹啉铝与罗丹明 B层,镀层厚度为3nm±0.5nm; 第7步:蒸镀第7层,即电子传输层,8-羟基喹啉铝层,镀层厚度为30nm ±1nm; 第8步:蒸镀第8层,即电子注入层,氟化锂层,镀层厚度为1nm±0.2nm; 第9步:蒸镀第9层,即低功函数金属阴极层,铝层,镀层厚度为30nm± 1nm。 (12)冷却 真空蒸镀完成后,关闭真空蒸镀箱,停止加热烘烤,黄光二极管随箱冷却, 冷却时间为10min±0.5min,冷却速度为3℃/min,至常温20℃±3℃,然后打 开真空蒸镀箱,取出导电玻璃及掩膜模板。 (13)脱模、切割成型 将导电玻璃上的掩膜模板去除,用专用切割工具将导电玻璃以中心线为基准 切割成4个大小一致的器件,即为4个黄光二极管产品。 (14)检测分析 对黄光二极管的发光亮度、黄光色纯度进行检测、分析; 用描点式亮度计对该器件进行发光亮度测试; 用光谱辐射分析仪对该器件黄光色纯度进行检测。 (15)封装储存 用环氧树脂将黄光二极管整体封装,以防止阴极氧化,储存在干燥、通风、 避光处。
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