发明名称 用于制造平板显示器的装置
摘要 本发明公开了一种用于制造平板显示器的装置,其包括显示面板移动单元以及用于产生激光束的激光单元,其中,激光单元包括:用于使激光束选择性地通过的掩模;用于缩减已经通过掩模的激光束的缩减透镜;以及用于主要防止外部空气流流入到掩模和缩减透镜之间的空隙中的阻挡部,其中激光束的焦点形成于该缩减透镜。
申请公布号 CN1831588A 申请公布日期 2006.09.13
申请号 CN200510132831.5 申请日期 2005.12.22
申请人 三星电子株式会社 发明人 金东范
分类号 G02F1/133(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G02F1/133(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 李伟
主权项 1.一种用于制造平板显示器的装置,包括:用于产生激光束的激光单元;其中所述激光单元包括:用于使所述激光束选择性地通过的掩模;用于聚焦已经通过所述掩模的激光束的聚焦缩减透镜;以及用于主要防止外部空气流流入到所述掩模和所述聚焦缩减透镜之间的空隙中的阻挡部。
地址 韩国京畿道