发明名称 基于PSD的动态光电自准直仪
摘要 一种基于PSD的动态光电自准直仪,小物镜(2)和准直物镜(6)的焦平面重合并组成光束扩束系统,位置敏感探测器PSD(5)置于准直物镜的经分光镜(4)分束后的另一焦平面上,激光光源(1)发出的光经小物镜(2)和准直物镜(6)扩束准直后,经平面反射镜(7)反射的光斑成像于PSD(5)的光敏面上,通过光斑在PSD上的位移量计算出平面反射镜(7)的二维小角度变化。本发明可实现静动态角度测试,测量范围大、分辨力高,可广泛应用于工业生产过程的检测、角度计量器具的检定和高频角晃动的检测。
申请公布号 CN1831469A 申请公布日期 2006.09.13
申请号 CN200610011788.1 申请日期 2006.04.26
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 张继友;范天泉;曹学东
分类号 G01B11/26(2006.01) 主分类号 G01B11/26(2006.01)
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 刘秀娟;成金玉
主权项 1、一种基于PSD的动态光电自准直仪,其特征在于:包括有激光光源(1)、小物镜(2)、小反射镜(3)、分光镜(4)、位置敏感探测器PSD(5)、准直物镜(6)、平面反射镜(7),小物镜(2)和准直物镜(6)焦点重合组成激光扩束系统,PSD(5)置于准直物镜的经分光镜(4)分束后的另一焦平面上,激光光源(1)发出的光经小物镜(2)和准直物镜(6)扩束准直后,经平面反射镜(7)反射的光斑成像于PSD(5)的光敏面上,通过光斑在PSD上的位移量计算出平面反射镜(7)的二维小角度变化。
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