发明名称 | 基于PSD的动态光电自准直仪 | ||
摘要 | 一种基于PSD的动态光电自准直仪,小物镜(2)和准直物镜(6)的焦平面重合并组成光束扩束系统,位置敏感探测器PSD(5)置于准直物镜的经分光镜(4)分束后的另一焦平面上,激光光源(1)发出的光经小物镜(2)和准直物镜(6)扩束准直后,经平面反射镜(7)反射的光斑成像于PSD(5)的光敏面上,通过光斑在PSD上的位移量计算出平面反射镜(7)的二维小角度变化。本发明可实现静动态角度测试,测量范围大、分辨力高,可广泛应用于工业生产过程的检测、角度计量器具的检定和高频角晃动的检测。 | ||
申请公布号 | CN1831469A | 申请公布日期 | 2006.09.13 |
申请号 | CN200610011788.1 | 申请日期 | 2006.04.26 |
申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 张继友;范天泉;曹学东 |
分类号 | G01B11/26(2006.01) | 主分类号 | G01B11/26(2006.01) |
代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘秀娟;成金玉 |
主权项 | 1、一种基于PSD的动态光电自准直仪,其特征在于:包括有激光光源(1)、小物镜(2)、小反射镜(3)、分光镜(4)、位置敏感探测器PSD(5)、准直物镜(6)、平面反射镜(7),小物镜(2)和准直物镜(6)焦点重合组成激光扩束系统,PSD(5)置于准直物镜的经分光镜(4)分束后的另一焦平面上,激光光源(1)发出的光经小物镜(2)和准直物镜(6)扩束准直后,经平面反射镜(7)反射的光斑成像于PSD(5)的光敏面上,通过光斑在PSD上的位移量计算出平面反射镜(7)的二维小角度变化。 | ||
地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 |