| 发明名称 | 一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置 | ||
| 摘要 | 一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置，属于单晶硅基片制备的有关设备，目的在于有效地防止腐蚀液渗漏，使得薄膜沉积工艺先于微桥制备工艺成为可能，提高器件的质量及成品率。本实用新型加热器上安置水浴缸，水浴缸中置有烧杯，冷凝器通过密封盖设置于烧杯上，水浴缸中同时置有温度计，温度计、温控仪和加热器串联构成温度控制回路；其特征在于烧杯中设有不锈钢圆筒，该不锈钢圆筒由不同直径的两个不锈钢圆筒构成一体、直径较大的不锈钢圆筒内壁旋有固紧螺栓；该固紧螺栓为中心透空的螺栓。应用该装置，能有效地保护硅基片正面图形，使薄膜沉积工艺先于微桥制备工艺进行，提高器件的质量及成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN2817066Y | 申请公布日期 | 2006.09.13 |
| 申请号 | CN200420057785.8 | 申请日期 | 2004.12.15 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 陈实;曾亦可;姜胜林;刘梅冬;刘少波 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01);H01L21/3063(2006.01);H01L31/18(2006.01);G01J5/10(2006.01);B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/306(2006.01) |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 | 代理人 | 方放 |
| 主权项 | 1.一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置，加热器上安置水浴缸，水浴缸中置有烧杯，冷凝器通过密封盖设置于烧杯上，水浴缸中同时置有温度计，温度计、温控仪和加热器串联构成温度控制回路；其特征在于烧杯中设有不锈钢圆筒，该不锈钢圆筒由不同直径的两个不锈钢圆筒构成一体、直径较大的不锈钢圆筒内壁旋有固紧螺栓；该固紧螺栓为中心透空的螺栓。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||