发明名称 |
Manipulator for e.g. adjusting optical components, uses piezoactuators and counterweight to move body |
摘要 |
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申请公布号 |
NL1028495(C2) |
申请公布日期 |
2006.09.12 |
申请号 |
NL20051028495 |
申请日期 |
2005.03.09 |
申请人 |
JANSSEN PRECISION ENGINEERING B.V;HUBERTUS LEONARDUS MATHIAS MARIE JANSSEN |
发明人 |
HUBERTUS LEONARDUS MATHIAS MARIE JANSSEN;BARTHOLOMEUS CATHARINA THOMAS VAN BREE |
分类号 |
G02B7/00;H01L41/09;(IPC1-7):G02B7/00 |
主分类号 |
G02B7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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