发明名称 MOVING SHOWER NOZZLE FOR ETCHING EQUIPMENT AND RINSE BATH EQUIPPED WITH SAME
摘要
申请公布号 KR100623883(B1) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 KR20050067809 申请日期 2005.07.26
申请人 SYSTEMS TECHNOLOGY INCORPORATED 发明人 YEAN, CHANG HEUM;KWAK, SUN PYO;PARK, KYOUNG SIK
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址