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发明名称 Vorrichtung für Einrichtungen zur Bestimmung von Eigenschaften aufgebrachter Schichten
摘要
申请公布号 DE10204075(B4) 申请公布日期 2006.09.07
申请号 DE20021004075 申请日期 2002.02.01
申请人 LEYBOLD OPTICS GMBH 发明人 WIRTH, ECKHARD
分类号 G01B11/06;C23C14/00;C23C14/54;C23C14/56;G01B21/08;H03H3/02 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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