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发明名称 PROJECTION OBJECTIVE HAVING A HIGH APERTURE AND A PLANAR END SURFACE
摘要
申请公布号 EP1697798(A2) 申请公布日期 2006.09.06
申请号 EP20040803712 申请日期 2004.12.10
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 BEDER, SUSANNE;SINGER, WOLFGANG
分类号 G03F7/20;G02B17/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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