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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Megaschallreinigung
摘要
申请公布号 DE69313597(D1) 申请公布日期 1997.10.09
申请号 DE19936013597 申请日期 1993.12.17
申请人 SPECIALTY COATING SYSTEMS, INC., INDIANAPOLIS, IND., US 发明人 BOK, HENDRIK F., FAIRHAVEN, MASSACHUSETTS 02719, US
分类号 B05C9/10;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/12;B05D3/00 主分类号 B05C9/10
代理机构 代理人
主权项
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