发明名称 Process and apparatus for measuring a rate of gas flow under very low pressure conditions
摘要
申请公布号 GB1018337(A) 申请公布日期 1966.01.26
申请号 GB19640022509 申请日期 1964.06.01
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 HENRY RENE PAUL;TOFFIN PIERRE
分类号 G01F1/00;G01F1/36;G01F1/42;G05D16/18;H01J41/02 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
主权项
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