发明名称 |
ELECTRONIC CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07221106(A) |
申请公布日期 |
1995.08.18 |
申请号 |
JP19940014212 |
申请日期 |
1994.02.08 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKATA TOMOAKI;SUZUKI TAKAMICHI;MURASE TOMOHIKO;ODAJIMA HITOSHI |
分类号 |
H01L21/60;H01L21/321;H01L21/607;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/60 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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