发明名称 ELECTRONIC CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07221106(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940014212 申请日期 1994.02.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKATA TOMOAKI;SUZUKI TAKAMICHI;MURASE TOMOHIKO;ODAJIMA HITOSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H01L21/607;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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