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发明名称 FIXING DEVICE FOR GUARD RING IN HIGH DENSITY PLASMA EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060094571(A) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20050015669 申请日期 2005.02.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SEONG JUN
分类号 H01L21/205;H01L21/60 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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