| 发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE PLASMA D'UNE COUCHE DE POLYSILICIUM AU TRAVER D'UNE COUCHE DE SI02 GRAVEE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2797715(B1) |
申请公布日期 |
2006.08.25 |
| 申请号 |
FR20000006683 |
申请日期 |
2000.05.25 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
COSTAGANNA PASCAL |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/467;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
